يعد عرض الشق أحد أهم المؤشرات عند اختيار آلة القطع بليزر نيتريد الألومنيوم، خاصة بالنسبة لركائز DBC، وإلكترونيات الطاقة، وسيراميك الترددات اللاسلكية، وتغليف أشباه الموصلات. إنه يؤثر بشكل مباشر على استخدام المواد ودقة الأبعاد وجودة الحافة.
في ظل ظروف الإنتاج الشامل -المستقرة، يختلف عرض الشق القابل للتحقيق بشكل كبير وفقًا لطول موجة الليزر وتقنية المعالجة.
| نوع الليزر | الآلة الموصى بها | سمك نموذجي | عرض الشق الإنتاجي المستقر | التطبيقات الرئيسية |
| ليزر نانو ثانية للأشعة فوق البنفسجية 355 نانومتر | آلة القطع بالليزر للأشعة فوق البنفسجية | 0.1-1.6 ملم | 20-60 ميكرومتر (نموذجي: 40-60 ميكرومتر) | ركائز السيراميك أشباه الموصلات، DBC / DPC، السيراميك RF |
| 1064 نانومتر ليزر ألياف QCW | آلة القطع بالليزر QCW | >1 ملم | 80–150 μm | سيراميك هيكلي سميك من AlN،-قطع عالي الكفاءة |
| ليزر بيكو ثانية للأشعة فوق البنفسجية | آلة القطع بالليزر بيكوسيكوند | أقل من أو يساوي 1 ملم | 10–30 μm | -رقائق أشباه الموصلات عالية الجودة، وتصنيع دقيق للغاية-. |
ليزر UV 355 نانومتر (موصى به لمعظم ركائز AlN)
بالنسبة لركائز AlN الرقيقة المستخدمة في تغليف أشباه الموصلات، تظل آلة القطع بالليزر UV بطول 355 نانومتر هي الحل الصناعي السائد.
>>>الشق الإنتاجي المستقر: 20-60 ميكرومتر
>>>إعداد الإنتاج النموذجي: 40-60 ميكرومتر
>>>يمكن للعمليات المحسنة أن تحقق شقوقًا تتراوح من 15 إلى 20 ميكرومترًا مع اتساق جيد.
>>>قد تصل العروض التوضيحية المعملية إلى ≈10 ميكرومتر، ولكن مثل هذه الظروف عمومًا تضحي بالإنتاجية واستقرار العملية على المدى الطويل-.
1064 نانومتر ليزر ألياف QCW
تعتبر آلة القطع بالليزر QCW مناسبة بشكل أفضل لسيراميك نيتريد الألومنيوم السميك حيث تكون الإنتاجية أكثر أهمية من الحد الأدنى لعرض الشق.
تشمل الخصائص النموذجية ما يلي:
>>>عرض الشق: 80-150 ميكرومتر
>>>سرعة قطع أعلى
>>>المنطقة المتأثرة بالحرارة الأكبر-(HAZ)
>>>خطر أكبر لتقطيع الحواف مقارنة بالمعالجة بالليزر فوق البنفسجي
ليزر بيكو ثانية
توفر آلة القطع بالليزر بيكو ثانية أضيق شق وأعلى جودة للحافة.
القدرة الإنتاجية النموذجية:
>>>عرض الشق: 10-30 ميكرومتر
>>>HAZ صغيرة للغاية
>>>الحد الأدنى من الشقوق الصغيرة وطبقة إعادة التشكيل
ومع ذلك، فإن الاستثمار في المعدات أعلى بكثير، وسرعة المعالجة أقل عمومًا من أنظمة الأشعة فوق البنفسجية بالنانو ثانية.
توصية هندسية
بالنسبة لمعظم تطبيقات ركيزة AlN الصناعية، توفر آلة القطع بالليزر UV بطول 355 نانومتر أفضل توازن بين الدقة والإنتاجية وتكلفة التشغيل.
>>>شق الإنتاج القياسي: 40-60 ميكرومتر
>>>إنتاج عالي الدقة-: 20-30 ميكرومتر
>>>ليزر الألياف QCW: عادة أكبر من أو يساوي 80 ميكرومتر، مناسب للمكونات الخزفية السميكة بدلاً من ركائز أشباه الموصلات الدقيقة.
>>>ليزر بيكو ثانية: أفضل جودة للحافة ولكنه مخصص عادةً لتطبيقات أشباه الموصلات ذات القيمة الفائقة-عالية- حيث تفوق الدقة القصوى تكلفة المعدات.
YCLASERمتخصصة في القطع والحفر والتصنيع الدقيق بالليزر للمواد الخزفية المتقدمة، بما في ذلك ركائز Al₂O₃ وAlN وSi₃N₄ وSiC وzirconia وDBC وDPC.
اختبار عينة مجانية متاح.أرسل لنا رسوماتك أو عيناتك، وسوف يوصي مهندسونا بحل المعالجة بالليزر الأكثر ملاءمة لتطبيقك.
